Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces V (eBook, PDF)

Redaktion: Heyns, Marc; Mertens, Paul; Meuris, Marc

• Format: PDF

Produktbeschreibung

UCPSS 2000

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Produktdetails

• Verlag: Trans Tech Publications
• Seitenzahl: 340
• Erscheinungstermin: 2. Januar 2001
• Englisch
• ISBN-13: 9783035707007
• Artikelnr.: 69101702