Silicon Technologies (eBook, ePUB)

Ion Implantation and Thermal Treatment
Redaktion: Baudrant, Annie

• Format: ePub

Produktbeschreibung

The main purpose of this book is to remind new engineers in silicon foundry, the fundamental physical and chemical rules in major Front end treatments: oxidation, epitaxy, ion implantation and impurities diffusion.

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Produktdetails

• Verlag: John Wiley & Sons
• Seitenzahl: 368
• Erscheinungstermin: 10. Mai 2013
• Englisch
• ISBN-13: 9781118601143
• Artikelnr.: 38402691

Autorenporträt

Annie Baudrant, Director of Program Coordination, Technologies and Compounds Management, CEA-LETi.