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Silicon is the most important material for the electronics industry. In modern microelectronics silicon devices like diodes and transistors play a major role, and devices like photodetectors or solar cells gain ever more importance. This concise handbook deals with one of the most important topics for the electronics industry. World renowned authors have contributed to this unique overview of the processing of silicon and silicon devices. Silizium ist das wichtigste Material der Halbleitertechnologie, der Basis der modernen Mikroelektronik. Das Buch ist verfaßt von führenden Experten auf diesem Gebiet und gibt angefangen mit der Herstellung hochreinen Siliziums einen breiten Überblick über Aufbau und Herstellung moderner Silizium-Baulelemente für die Mikroelektronik. Es wird für jeden Physiker, Ingenieur oder Materialwissenschaftler, der sich mit der Forschung und Entwicklung neuer Halbleiter-Elemente befaßt, ein unentbehrliches Nachschlagewerk sein.