Seán Thomas Barry

Chemistry of Atomic Layer Deposition (eBook, ePUB)

• Format: ePub

Produktbeschreibung

This book will help chemists and non-chemists alike understand the fundamentals of surface chemistry and precursor design, and how these precursors drive the processes of atomic layer deposition, and how the surface-precursor interaction governs atomic layer deposition processes. The underlying principles in atomic layer deposition rely on the chemistry of a precursor with a surface.

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Produktdetails

• Verlag: Walter de Gruyter
• Seitenzahl: 113
• Erscheinungstermin: 8. November 2021
• Englisch
• ISBN-13: 9783110712599
• Artikelnr.: 63435516

Autorenporträt

Seán Thomas Barry, Carleton University, Ottawa, Canada.