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In der Vakuumtechnik wird das Prozessverhalten durch
Partikel negativ beeinflusst. Eine Quelle für die
Entstehung von Partikeln ist der Dichtbereich des
Ventils.
In dieser Arbeit wurde das Verhalten eines bestimmten
Dichtmaterials (Viton) beim Abdichtvorgang
untersucht. Durch verifizierte Simulationen wurden
Kraft-Weg-Kennlinien generiert, die für die
konstruktive Auslegung des Vakuumventils und dessen
Antriebseinheiten verwendet werden.
Von signifikanter Bedeutung ist das Verhalten des
Dichtwerkstoffes während des Schliessvorganges. Um
das Materialverhalten beschreiben zu können, wurden
Materialversuche durchgeführt. Diese Kennwerte
bildeten die Grundlage der Finite Elemente
Simulation. Simuliert wurde das Dichtmaterial in
verschiedenen Dichtnuten (Geometrie und Dimension).
Die Simulation konnte durch entsprechende Messdaten
verifiziert werden.
Eine wichtige Messdatenquelle ist hierbei das ESPI
(Electronic Speckle Pattern Interferometry)
Verfahren. Durch dieses Verfahren ist es möglich,
Verschiebungen des Dichtmaterials in der Dichtnut zu
messen.
Durch diese Arbeit konnte ein verifiziertes
Simulationsmodell für Viton zur Verfügung gestellt
werden.
Partikel negativ beeinflusst. Eine Quelle für die
Entstehung von Partikeln ist der Dichtbereich des
Ventils.
In dieser Arbeit wurde das Verhalten eines bestimmten
Dichtmaterials (Viton) beim Abdichtvorgang
untersucht. Durch verifizierte Simulationen wurden
Kraft-Weg-Kennlinien generiert, die für die
konstruktive Auslegung des Vakuumventils und dessen
Antriebseinheiten verwendet werden.
Von signifikanter Bedeutung ist das Verhalten des
Dichtwerkstoffes während des Schliessvorganges. Um
das Materialverhalten beschreiben zu können, wurden
Materialversuche durchgeführt. Diese Kennwerte
bildeten die Grundlage der Finite Elemente
Simulation. Simuliert wurde das Dichtmaterial in
verschiedenen Dichtnuten (Geometrie und Dimension).
Die Simulation konnte durch entsprechende Messdaten
verifiziert werden.
Eine wichtige Messdatenquelle ist hierbei das ESPI
(Electronic Speckle Pattern Interferometry)
Verfahren. Durch dieses Verfahren ist es möglich,
Verschiebungen des Dichtmaterials in der Dichtnut zu
messen.
Durch diese Arbeit konnte ein verifiziertes
Simulationsmodell für Viton zur Verfügung gestellt
werden.