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Le développement de ce travail est né comme une préparation à un futur projet du CEMMPRE qui consiste en la production de films minces DLC pour les segments de piston des moteurs à combustion interne à haute compression déposés par HiPIMS en mode DOMS. L'objectif de ce travail est d'étudier l'influence de certains paramètres de dépôt dans les échantillons, afin d'obtenir une ligne directrice à suivre dans le projet. La variation du biais du substrat montre qu'en augmentant le biais du substrat dans le processus de déposition, la dureté des revêtements DLC augmente. En augmentant le biais du substrat, les ions de carbone dans le plasma sont attirés avec plus d'élan vers le substrat et il en résulte une structure plus compacte des films. Dans le cadre de cette thèse, du Ne est produit dans le gaz de décharge et les effets du Ne sont étudiés. Le Ne augmente le degré d'ionisation du carbone dans le plasma, ce qui augmente le ratio sp3 dans la structure du film. Puisque sp3 est une hybridation plus puissante, les revêtements déposés avec Ne montrent plus de dureté dans le test de Nano indentation.