Propiedades físicas de películas delgadas de óxido de plata puras y dopadas con cobre
para dispositivos microelectrónicos
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Las películas delgadas de óxido metálico conductor transparente (TCO) han atraído la atención de muchos investigadores para su aplicación en electrónica transparente, como células solares de heterounión, sensores de gas, dispositivos electrocrómicos, revestimientos antibacterianos, etc. El óxido de plata puro (Ag2O) y el óxido de plata dopado con cobre (Ag2Cu2O3 y Ag2Cu2O4) son óxidos transparentes que presentan conductividad de tipo p. Las propiedades de estos materiales dependen del método de preparación y de las condiciones de deposición mantenidas durante el crecimiento de ...
Las películas delgadas de óxido metálico conductor transparente (TCO) han atraído la atención de muchos investigadores para su aplicación en electrónica transparente, como células solares de heterounión, sensores de gas, dispositivos electrocrómicos, revestimientos antibacterianos, etc. El óxido de plata puro (Ag2O) y el óxido de plata dopado con cobre (Ag2Cu2O3 y Ag2Cu2O4) son óxidos transparentes que presentan conductividad de tipo p. Las propiedades de estos materiales dependen del método de preparación y de las condiciones de deposición mantenidas durante el crecimiento de la película. En este libro se estudian las condiciones optimizadas de las películas delgadas de óxido de plata puro (Ag2O) y óxido de plata dopado con cobre (Ag2Cu2O3 y Ag2Cu2O4) formadas sobre sustratos de silicio tipo p y vidrio mediante la técnica de pulverización catódica reactiva por magnetrón RF, y se investigan su estructura y morfología superficial, composición y propiedades eléctricas y ópticas. El enfoque prometedor para preparar películas monofásicas de Ag2O de buena calidad para electrodos en aplicaciones de microbaterías y las películas de Ag-Cu-O para sensores de gas, células solares y antibacterianos se discutió claramente en este libro.
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