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In dieser Arbeit wird ein hybrider Laserbohrprozess entwickelt, um lebensdauersenkende Defekte wie Schmelzschichten und Risse an der Bohrungswand von z.B. Kühlluftbohrungen in Turbinenschaufeln zu vermeiden. Dazu wird zunächst eine Vorbohrung mittels Faserlaserstrahlung mit großer Volumenabtragrate erzeugt. Das thermisch beeinflusste Material an der Bohrungswand wird in einem zweiten Schritt mittels ultrakurzgepulster Laserstrahlung mit kleiner Volumenabtragrate abgetragen.