Mikroentladungs-Arrays auf Silicium
Mukesh Kumar Kulsreshath
Broschiertes Buch

Mikroentladungs-Arrays auf Silicium

Entwicklung und Studium

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Mikroplasmen werden zu einem wichtigen Thema in der Plasma-Community. Mikroplasmen bestehen aus Mikrohohlkathodenentladungen (MHCD), Mikrojets und dielektrisch behinderten Entladungen (DBD). Sie können alle bei atmosphärischem Druck arbeiten und sind Nichtgleichgewichtsplasmen. Unter diesen verschiedenen Arten von Mikroentladungen erscheinen MHCDs als eine sehr vielversprechende Gerätekonfiguration, um Gleich- oder Wechselstrom durch verschiedene Gase zu leiten. In diesem speziellen Reaktor ist das stabile Mikroplasma in einem Hohlraum eingeschlossen. Obwohl viele Konfigurationen von MHCD-A...