Mikrobauteile reagieren besonders empfindlich auf Verunreinigungen während der Produktion. Eingeschränkte oder mangelhafte Funktionalität sind oftmals die Folge daraus. Die Zusammenhänge zwischen den Techniken der Mikrostrukturierung und den Kontaminationen werden in diesem Buch anschaulich und leicht verständlich dargestellt.
Es beschreibt zunächst die Entwicklung der Mikrosysteme und gibt einen kurzen Einblick in die Mikrostrukturtechniken der Halbleiterindustrie. Wichtige Maßnahmen zum Vermeiden von Verunreinigungen werden dabei herausgestellt. Anschließend wird der Leser mit den Kontaminationen vertraut gemacht, wobei er die verschiedenen Quellen und Eigenschaften kleinster Partikel und molekularer Kontaminationen kennen lernt. Es werden Defektmechanismen der unterschiedlichen Verunreinigungen beschrieben, die die Funktionsfähigkeit und die Zuverlässigkeit von integrierten elektronischen Bauteilen zerstören können. Die wichtigsten Mess- und Analysetechniken für Verunreinigungen in der Halbleiterindustrie werden vorgestellt und die Grenzen der Messtechnik aufgezeigt. Einen weiteren Schwerpunkt der Darstellung bildet das Thema Reinraum.
Dieses Buch erläutert die grundlegenden Zusammenhänge zwischen den Techniken der Mikrostrukturierung und den unvermeidbaren Kontaminationen durch die Umgebung. Es richtet sich an Dozenten und Studenten von Hochschulen mit Schwerpunkt Mikrosystemtechnik, aber auch an Ingenieure und Facharbeiter, die im Bereich Mikrosystemtechnik arbeiten.
Zunächst wird ein kurzer Einblick in die Mikrostrukturtechniken gegeben. Es schließen sich Informationen über die verschiedenen Kontaminationsquellen und über die Eigenschaften und Defektmechanismen kleinster Partikel und molekularer Kontaminationen an. Des Weiteren werden die wichtigsten Mess- und Analysetechniken für Verunreinigungen sowie der grundsätzliche Aufbau eines Reinraumes vorgestellt.
Abschließend wird der Mensch im Reinraum betrachtet und wichtige Regeln für das Arbeiten im Reinraum aufgestellt.
Das Buch bietet Ingenieuren einen umfangreichen Einblick in dieses wichtige Thema der Mikrosystemtechnik und ist eine gute Grundlage für die Schulung des Reinraumpersonals. Nur gut geschultes Personal ist in der Lage, die Gefahr durch Verunreinigungen zu erkennen und sie zu vermeiden.
Es beschreibt zunächst die Entwicklung der Mikrosysteme und gibt einen kurzen Einblick in die Mikrostrukturtechniken der Halbleiterindustrie. Wichtige Maßnahmen zum Vermeiden von Verunreinigungen werden dabei herausgestellt. Anschließend wird der Leser mit den Kontaminationen vertraut gemacht, wobei er die verschiedenen Quellen und Eigenschaften kleinster Partikel und molekularer Kontaminationen kennen lernt. Es werden Defektmechanismen der unterschiedlichen Verunreinigungen beschrieben, die die Funktionsfähigkeit und die Zuverlässigkeit von integrierten elektronischen Bauteilen zerstören können. Die wichtigsten Mess- und Analysetechniken für Verunreinigungen in der Halbleiterindustrie werden vorgestellt und die Grenzen der Messtechnik aufgezeigt. Einen weiteren Schwerpunkt der Darstellung bildet das Thema Reinraum.
Dieses Buch erläutert die grundlegenden Zusammenhänge zwischen den Techniken der Mikrostrukturierung und den unvermeidbaren Kontaminationen durch die Umgebung. Es richtet sich an Dozenten und Studenten von Hochschulen mit Schwerpunkt Mikrosystemtechnik, aber auch an Ingenieure und Facharbeiter, die im Bereich Mikrosystemtechnik arbeiten.
Zunächst wird ein kurzer Einblick in die Mikrostrukturtechniken gegeben. Es schließen sich Informationen über die verschiedenen Kontaminationsquellen und über die Eigenschaften und Defektmechanismen kleinster Partikel und molekularer Kontaminationen an. Des Weiteren werden die wichtigsten Mess- und Analysetechniken für Verunreinigungen sowie der grundsätzliche Aufbau eines Reinraumes vorgestellt.
Abschließend wird der Mensch im Reinraum betrachtet und wichtige Regeln für das Arbeiten im Reinraum aufgestellt.
Das Buch bietet Ingenieuren einen umfangreichen Einblick in dieses wichtige Thema der Mikrosystemtechnik und ist eine gute Grundlage für die Schulung des Reinraumpersonals. Nur gut geschultes Personal ist in der Lage, die Gefahr durch Verunreinigungen zu erkennen und sie zu vermeiden.