Crescimento e Caracterização da película fina ITO por Magnetron Sputtering
Crescimento da ITO
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Neste estudo, as películas finas de óxido de estanho índio (ITO) foram cultivadas tanto por técnicas de pulverização de magnetrões DC como RF. Para conhecer a taxa de deposição de ITO, os sistemas foram calibrados tanto para DCMS como para RFMS e depois as ITO foram cultivadas em substrato de vidro com a espessura de 70 nm e 40 nm por alteração da temperatura do substrato. Foi investigado o efeito da temperatura do substrato, da espessura da película e do método de pulverização catódica nas propriedades estruturais, eléctricas e ópticas. Os resultados mostram que a temperatur...
Neste estudo, as películas finas de óxido de estanho índio (ITO) foram cultivadas tanto por técnicas de pulverização de magnetrões DC como RF. Para conhecer a taxa de deposição de ITO, os sistemas foram calibrados tanto para DCMS como para RFMS e depois as ITO foram cultivadas em substrato de vidro com a espessura de 70 nm e 40 nm por alteração da temperatura do substrato. Foi investigado o efeito da temperatura do substrato, da espessura da película e do método de pulverização catódica nas propriedades estruturais, eléctricas e ópticas. Os resultados mostram que a temperatura do substrato e a espessura da película afectam substancialmente as propriedades da película, especialmente a cristalização e a resistividade. As películas finas cultivadas a uma temperatura inferior a 150 oC mostraram uma estrutura amorfa. No entanto, a cristalização foi detectada com o aumento adicional da temperatura do substrato. Calculou-se que a diferença de banda de ITO era de cerca de 3,64eV à temperatura do substrato de 150 oC, e alargou-se com o aumento da temperatura do substrato. A partir de medições eléctricas, a resistividade à temperatura ambiente foi obtida 1,28×10-4 e 1,29×10-4 D-cm, para os filmes com DC e RF sputtered, respectivamente. Também medimos a resistividade dependente da temperatura e o coeficiente Hall dos filmes, e calculámos a concentração portadora e a mobilidade Hall.
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