CONCEPTION, ANALYSE ET SYNTHÈSE D'UN CAPTEUR DE CO-GAZ UTILISANT LA TECHNOLOGIE MEMS

CONCEPTION, ANALYSE ET SYNTHÈSE D'UN CAPTEUR DE CO-GAZ UTILISANT LA TECHNOLOGIE MEMS

TECHNOLOGIE DES MICROSYSTÈMES

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Cet ouvrage présente la conception, l'analyse et la synthèse d'un capteur de gaz de monoxyde de carbone à base de silicium utilisant la technologie MEMS. L'accent est mis sur l'étude de la température de la microplaque chauffante par rapport à la variation de la puissance, car l'analyte est sensible à un gaz spécifique à haute température. L'approche générale suivie dans ce travail consiste à explorer la possibilité d'utiliser une microplaque chauffante pour détecter le gaz. Pour compléter la conception du capteur, l'analyse est la partie vitale car elle montre la distribution ...