Anlagenautomatisierung, Meßtechnik und Analysentechnik / Vakuumbeschichtung Bd.3

Hrsg. v. Gerhard Kienel

• Gebundenes Buch

Produktbeschreibung

Behandelt werden Messungen an dünnen Schichten während und nach der Beschichtung, Schichtdickenmeßverfahren, Verfahren der Dünnschichtanalyse sowie die Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen.

Produktdetails

• Verlag: Springer, Berlin / VDI
• 1994.
• Seitenzahl: 368
• Deutsch
• Abmessung: 245mm
• Gewicht: 844g
• ISBN-13: 9783540622697
• ISBN-10: 3540622691
• Artikelnr.: 05018591