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Produktbild: Radio Frequency Sputtering
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Radio Frequency Sputtering Thin-Film Deposition and Device Applications

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Beschreibung

Produktdetails

Einband

Gebundene Ausgabe

Erscheinungsdatum

07.10.2026

Herausgeber

Aditya Sharma + weitere

Verlag

Wiley-VCH

Seitenzahl

432

Maße (L/B)

24,4/17 cm

Auflage

1. Auflage

Sprache

Englisch

ISBN

978-3-527-35622-5

Beschreibung

Portrait

Dr. Aditya Sharma is an Associate Professor of Physics at UPES, Dehradun, India. He has extensive experience in energy harvesting and conversion, thin films, and nanomaterials, and has guided numerous PhD and MS. students. Dr. Sharma has held research positions in South Korea and India.

 

Dr. Weon Cheol Lim is a Senior Research Scientist at the Korea Institute of Science and Technology (KIST), Seoul, South Korea. He specializes in thin film deposition using RF magnetron sputtering and ion implantation. Dr. Lim's research focuses on testing the reliability of materials and devices in high-radiation environments, such as space and nuclear reactors.

 

Dr. Poorva Sharma is an Associate Professor at Luzhou Vocational and Technical College, Luzhou, Sichuan, China. She earned her PhD in Physics from Devi Ahilya University, Indore, India. Her research focuses on multifunctional multiferroic materials for advanced spintronic and memory devices. Dr. Sharma has published over 50 scientific papers and has received several prestigious awards.

 

Dr. Jitendra Pal Singh is a Visiting Scientist at the Korea Institute of Science and Technology, South Korea. He earned his PhD from Govind Ballabh Pant University of Agriculture and Technology, Pantnagar, India. Dr. Singh's research interests include irradiation studies in nanoferrites, thin films, and magnetic multilayers. He has held research positions in India, Taiwan, and South Korea.

 

Produktdetails

Einband

Gebundene Ausgabe

Erscheinungsdatum

07.10.2026

Herausgeber

Verlag

Wiley-VCH

Seitenzahl

432

Maße (L/B)

24,4/17 cm

Auflage

1. Auflage

Sprache

Englisch

ISBN

978-3-527-35622-5

Herstelleradresse

Wiley-VCH GmbH
Boschstraße 12
69469 Weinheim
DE

Email: [email protected]

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  • Produktbild: Radio Frequency Sputtering
  • Part 1: Phenomena

    1. Mechanistic Understanding of Sputtering

    2. Advancement in Sputtering Experimental Set-Up

    3. Hybrid Sputtering Systems

    4. Phenomenological Understanding of Film Growth by Sputtering

    5. Atomic-Scale Understanding of Sputtering-Assisted Film Growth by X-Ray Absorption

     

    Part 2: Film Growth Examples

    6. Epitaxial Growth via Radio Frequency Sputtering Process

    7. Deposition of Layers for Solar Cells

    8. Sputtering-Assisted Growth of Magnetic Thin Films

    9. Sputtering for Growth of Oxides from Metal Targets

     

    Part 3: Types of Sputtering

    10. Ion Beam Sputtering

    11. High Power Pulsed Magnetron Sputtering

    12. Reactive Magnetron Sputtering

     

    Part 4: Industrial Applications

    13. Sputtering for Development of Magnetic Tunnel Junctions

    14. Deposition of Thin Films for AMR Devices

    15. Sputtering for Thin Film Batteries

    16. Sputtering for Semiconductor Devices