Silizium-Halbleitertechnologie Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
Aus der Reihe
Teubner Studienbücher Technik
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- Taschenbuch ausgewählt
- eBook
-
Sprache:Deutsch
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Verlag:Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH
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Beschreibung
Produktdetails
Einband
Taschenbuch
Erscheinungsdatum
27.10.2023
Abbildungen
XII, mit 306 Abbildungen
Verlag
Springer Fachmedien Wiesbaden GmbHSeitenzahl
309
Maße (L/B/H)
24/16,8/1,8 cm
Gewicht
546 g
Auflage
8. Auflage 2023
Sprache
Deutsch
ISBN
978-3-658-42377-3
Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert. Moderne 3D-Bauformen für Feldeffekttransistoren runden den Inhalt ab.
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