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  • Produktbild: MEMS: A Practical Guide of Design, Analysis, and Applications
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MEMS: A Practical Guide of Design, Analysis, and Applications

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Beschreibung

Produktdetails

Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

30.03.2019

Verlag

Springer Berlin

Seitenzahl

965

Maße (L/B/H)

23,5/15,5/5,3 cm

Gewicht

1501 g

Auflage

Softcover reprint of the original 1st ed. 2006

Sprache

Englisch

ISBN

978-3-662-56835-4

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Taschenbuch

Erscheinungsdatum

30.03.2019

Verlag

Springer Berlin

Seitenzahl

965

Maße (L/B/H)

23,5/15,5/5,3 cm

Gewicht

1501 g

Auflage

Softcover reprint of the original 1st ed. 2006

Sprache

Englisch

ISBN

978-3-662-56835-4

Herstelleradresse

Springer-Verlag GmbH
Tiergartenstr. 17
69121 Heidelberg
DE

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  • Microtransducer Operation.- Material Properties: Measurement and Data.- MEMS and NEMS Simulation.- System-Level Simulation of Microsystems.- Thermal-Based Microsensors.- Photon Detectors.- Free-Space Optical MEMS.- Integrated Micro-Optics.- Microsensors for Magnetic Fields.- Mechanical Microsensors.- Semiconductor-Based Chemical Microsensors.- Microfluidics.- Biomedical Systems.- Microactuators.- Micromachining Technology.- LIGA Technology for R&D and Industrial Applications.- 17 Interface Circuitry and Microsystems.