PVD for Microelectronics: Sputter Desposition to Semiconductor Manufacturing
167,99 €
inkl. gesetzl. MwSt.,
Beschreibung
Produktdetails
Einband
Gebundene Ausgabe
Erscheinungsdatum
29.10.1998
Herausgeber
Stephen M. Rossnagel + weitereVerlag
Elsevier Science & TechnologySeitenzahl
419
Maße (L/B/H)
22,9/15,2/2,3 cm
Gewicht
810 g
Sprache
Englisch
ISBN
978-0-12-533026-8
In order to be able to reflect the development of today's science and to cover all modern aspects of thin films, the series, starting with Volume 20, has moved beyond the basic physics of thin films. It now addresses the most important aspects of both inorganic and organic thin films, in both their theoretical as well as technological aspects. Therefore, in order to reflect the modern technology-oriented problems, the title has been slightly modified from Physics of Thin Films to Thin Films.
This volume, part of the Thin Films Series, has been wholly written by two authors instead of showcasing several edited manuscripts.
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