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Methods and Materials in Microelectronic Technology

Aus der Reihe The IBM Research Symposia Series

97,99 €

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Beschreibung

Produktdetails

Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

24.12.2012

Verlag

Springer Us

Seitenzahl

367

Maße (L/B/H)

25,4/17,8/2,1 cm

Gewicht

713 g

Auflage

Softcover reprint of the original 1st ed. 1984

Sprache

Englisch

ISBN

978-1-4684-4849-8

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Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

24.12.2012

Verlag

Springer Us

Seitenzahl

367

Maße (L/B/H)

25,4/17,8/2,1 cm

Gewicht

713 g

Auflage

Softcover reprint of the original 1st ed. 1984

Sprache

Englisch

ISBN

978-1-4684-4849-8

Herstelleradresse

Springer-Verlag KG
Sachsenplatz 4-6
1201 Wien
AT

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  • Impact of Microelectronics- Technical, Economical and Social Aspects.- Milestones in Silicon Semiconductor Technology.- Electronic Transport in Semiconductor Materials.- Recent Advances in the Theory of Impurities and Defects in Semiconductors.- Silicide Contact and Gate in Microelectronic Devices.- Photolithography and X-Ray Lithography.- Electron Beam Lithography.- Microlithography for VLSI and Beyond.- Lithographic Materials.- Reactive Ion Etching and Related Polymerization Processes.- Organic Insulators.- Multilayer Ceramics.- High Performance Cooling and Large Scale Integration.- Limitation of Digital Electronics.- Electron Beam Microcircuit Inspection Technique.