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  • Produktbild: Verfahren zur Konzeption automatischer reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen
Band 253

Verfahren zur Konzeption automatischer reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen

Aus der Reihe IPA-IAO - Forschung und Praxis

54,99 €

inkl. gesetzl. MwSt., Versandkostenfrei

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Beschreibung

Produktdetails

Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

08.08.1997

Abbildungen

174 S.

Verlag

Springer Berlin

Seitenzahl

174

Maße (L/B/H)

21/14,8/1 cm

Gewicht

236 g

Sprache

Deutsch

ISBN

978-3-540-63447-8

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Taschenbuch

Erscheinungsdatum

08.08.1997

Abbildungen

174 S.

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Springer Berlin

Seitenzahl

174

Maße (L/B/H)

21/14,8/1 cm

Gewicht

236 g

Sprache

Deutsch

ISBN

978-3-540-63447-8

Herstelleradresse

Springer-Verlag KG
Sachsenplatz 4-6
1201 Wien
AT

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  • 1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung und Vorgehensweise.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Definitionen der Reinraumtechnik.- 2.2 Ausgangssituation.- 2.3 Analyse von Verfahren und Methoden zur Entwicklung reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen.- 3 Entwicklungsschwerpunkte.- 3.1 Ableitung von Entwicklungsschwerpunkten.- 3.2 Anforderungen an das Verfahren.- 4 Konzeption der Methoden und Hilfsmittel des Verfahrens.- 4.1 Konzeption der Methoden.- 4.2 Konzeption der Hilfsmittel.- 4.3 Erarbeitung eines Prüfverfahrens zur Untersuchung des Partikelemissionsverhaltens ungeschmierter gleitreibungsbeanspruchter Materialpaarungen.- 5 Ableitung von Methoden zur Anlagenkonzeption.- 5.1 Methode zur funktionellen Analyse.- 5.2 Methode zur konzeptionellen Anlagengestaltung.- 6 Erarbeitung von Hilfsmitteln zur Anlagenkonzeption.- 6.1 Bildung und Optimierung von Funktionsstrukturen.- 6.2 Partikelemissionsverhalten von Materialpaarungen.- 6.3 Materialflußautomatisierung sowie materialflußbezogene Strukturierung und Integration von Fertigungsanlagen und -zellen.- 6.4 Nicht-experimentelle Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Fertigungsanlagen.- 7 Anwendung des Verfahrens am Beispiel der Konzeption einer automatischen Fertigungszelle zur Waferkontaminationsmessung.- 7.1 Aufstellen des Anforderungskataloges.- 7.2 Durchführung der funktionellen Analyse.- 7.3 Durchführung der konzeptionellen Gestaltung.- 7.4 Diskussion der Anwendungsmöglichkeiten und Ergebnisse des entwickelten Verfahrens.- 8 Zusammenfassung und Ausblick.- 9 Literaturverzeichnis.