CMOS Hotplate Chemical Microsensors
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Sprache:Englisch
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inkl. gesetzl. MwSt.,
Beschreibung
Produktdetails
Einband
Taschenbuch
Erscheinungsdatum
22.11.2010
Abbildungen
XII, 125 p.
Verlag
Springer BerlinSeitenzahl
125
Maße (L/B/H)
23,5/15,5/0,8 cm
Gewicht
224 g
Auflage
Softcover reprint of hardcover 1st edition 2007
Sprache
Englisch
ISBN
978-3-642-08910-7
This is the first comprehensive book on microhotplate-based chemical sensor systems in CMOS-technology. It covers all aspects of successful sensor prototyping. A variety of different hotplates for different operation conditions is detailed and a family of metal-oxide-covered microhotplate-based microsensor systems with increasing complexity is presented. These systems belong to a new generation of chemical microsensors and represent examples of the successful integration of nanomaterials, microtechnology and microelectronics. The book provides students, scientists and engineers with an accessible introduction to the field of microhotplate-based chemical sensing, with all the necessary fundamental knowledge included. Beyond that, it also provides detailed information on all important issues concerning complex high-performance CMOS chemical microsensor systems; hence it will also be valuable to experts already familiar with the field.
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