Engelmann, S: Plasma-Surface Interactions Of Advanced Photor PLASMA-SURFACE INTERACTIONS OF MODEL POLYMERS FOR ADVANCED PHOTORESIST SYSTEMS
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Beschreibung
Produktdetails
Einband
Taschenbuch
Erscheinungsdatum
26.10.2013
Verlag
VDMSeitenzahl
172
Maße (L/B/H)
22/15/0,9 cm
Gewicht
246 g
Sprache
Englisch
ISBN
978-3-639-17824-1
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