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Mikromechanik Einführung in Technologie und Anwendungen

Aus der Reihe Angewandte Physik

44,99 €

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Beschreibung

Produktdetails

Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

01.01.1997

Abbildungen

2., durchges. mit Abbildungen 20,5 cm

Verlag

Vieweg & Teubner

Seitenzahl

240

Maße (L/B/H)

21,6/14/1,3 cm

Gewicht

313 g

Auflage

2. Auflage 1991

Sprache

Deutsch

ISBN

978-3-519-13071-0

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Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

01.01.1997

Abbildungen

2., durchges. mit Abbildungen 20,5 cm

Verlag

Vieweg & Teubner

Seitenzahl

240

Maße (L/B/H)

21,6/14/1,3 cm

Gewicht

313 g

Auflage

2. Auflage 1991

Sprache

Deutsch

ISBN

978-3-519-13071-0

Herstelleradresse

Vieweg+Teubner Verlag
Abraham-Lincoln-Straße 46
65189 Wiesbaden
DE

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  • Eine Einführung in die Technologien und die Anwendungsmöglichkeiten der Mikromechanik für Physiker und Ingenieure.
    Aus dem Inhalt
    Werkstoffe Silizium und Quarz
    Reinraumtechnik
    Technologien der Mikromechanik (Lithographie, Dünnschichttechnik, Ätztechnik, Mikrostrukturierung mit Lasern, Aufbau- und Verbindungstechnik)
    Maßmethoden in der Mikromechanik
    Anwendungen der Mikromechanik (Sensoren und Aktoren, Analysesysteme, Mikrooptik, Maskentechnik)