Smart Material Systems and MEMS Design and Development Methodologies
188,99 €
inkl. gesetzl. MwSt.,
Beschreibung
Produktdetails
Einband
Gebundene Ausgabe
Erscheinungsdatum
01.10.2006
Verlag
John Wiley & Sons IncSeitenzahl
418
Maße (L/B/H)
25,5/19,5/2,9 cm
Gewicht
1076 g
Auflage
1. Auflage
Sprache
Englisch
ISBN
978-0-470-09361-0
This book presents a unified treatment of the design and modelling of smart material systems and Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS), addressing both fabrication issues and outlining important potential application areas for the technology. With numerous case studies and illustrative examples, Varadan et al. cover in detail:
* the fundamentals of smart systems and materials characterization;
* design principles for sensors and actuators, analysing bulk sensors, micro sensors and some commonly available devices such as gyroscopes, pressure sensors and chemical and biosensors;
* the modelling of smart systems, including special techniques for studying MEMS- and carbon nanotube (CNT) -based sensors and actuators;
* fabrication techniques, providing details of bulk and surface micromachining concepts for silicon-based processing of MEMS and polymer-based systems;
* practical application issues, using smart technology to solve real world problems in a range of engineering fields.
A valuable reference for students taking courses in smart sensors, actuators and systems, Smart Material Systems and MEMS: Design and Development Methodologies is also useful for practising engineers, researchers and developers of microsystems working in industry.
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