Microstereolithography and Other Fabrication Techniques for 3D Mems
-
- Englisch ausgewählt
315,99 €
inkl. gesetzl. MwSt.,
Beschreibung
Produktdetails
Einband
Gebundene Ausgabe
Erscheinungsdatum
06.04.2001
Abbildungen
w. figs.
Verlag
John Wiley & SonsSeitenzahl
272
Maße (L/B/H)
23,5/15,7/2,1 cm
Gewicht
598 g
Auflage
1. Auflage
Sprache
Englisch
ISBN
978-0-471-52185-3
This volume discusses the fundamental principles of microstereolithography for fabrication of 3D MEMS devices, providing an account of recent developments in related microfabrication and combined architecture techniques, and illustrating their application in the engineering and medical fields.
It provides:
* A unique and accessible overview of micro-system manufacture using the latest semiconductor processing techniques
* Coverage of the developmental history of MEMS, micro-sensors, actuators and signal processing units
* Insight to a range of microfabrication techniques from laser ablation to x-ray lithography, silicon micro-machining and micro-moulding
* Describes the latest fabrication prototypes and applications, including thin-film transistors, antennas, wireless telemetry systems and transducers
This book will appeal to microelectronics engineers, as well as material technologists, and physicists working in industrial and academic research and development.
Noch keine Bewertungen vorhanden
Verfassen Sie die erste Bewertung zu diesem Artikel
Helfen Sie anderen Kundinnen und Kunden durch Ihre Meinung.
Kurze Frage zu unserer Seite
Vielen Dank für dein Feedback
Wir nutzen dein Feedback, um unsere Produktseiten zu verbessern. Bitte habe Verständnis, dass wir dir keine Rückmeldung geben können. Falls du Kontakt mit uns aufnehmen möchtest, kannst du dich aber gerne an unseren Kund*innenservice wenden.
zum Kundenservice