MeV-Elektronenbestrahlung von Si-Heterostrukturen - Kaschieva, Sonia; Dmitriev, Sergey N.
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Die Erzeugung von Strahlungsdefekten durch hochenergetische MeV-Elektronenbestrahlung von n- und p-Typ Si-SiO2-Strukturen mit verschiedenen Arten von Oxiden wurde untersucht. Die Morphologieänderungen des SiO2-Oxids während der MeV-Elektronenbestrahlung wurden mittels AFM beobachtet. Es werden Si+-Ionen-implantierte Si-SiO2-Strukturen vor und nach MeV-Elektronenbestrahlung vorgestellt. Die Umverteilung von Sauerstoff- und Silizium-Atomen und die Erzeugung von Si-Nanokristallen während der MeV-Elektronenbestrahlung wurde mit RBS/C- bzw. AFM-Techniken beobachtet. Optische Eigenschaften,…mehr

Produktbeschreibung
Die Erzeugung von Strahlungsdefekten durch hochenergetische MeV-Elektronenbestrahlung von n- und p-Typ Si-SiO2-Strukturen mit verschiedenen Arten von Oxiden wurde untersucht. Die Morphologieänderungen des SiO2-Oxids während der MeV-Elektronenbestrahlung wurden mittels AFM beobachtet. Es werden Si+-Ionen-implantierte Si-SiO2-Strukturen vor und nach MeV-Elektronenbestrahlung vorgestellt. Die Umverteilung von Sauerstoff- und Silizium-Atomen und die Erzeugung von Si-Nanokristallen während der MeV-Elektronenbestrahlung wurde mit RBS/C- bzw. AFM-Techniken beobachtet. Optische Eigenschaften, Photolumineszenz und spektroskopische Untersuchungen von SiOx-Filmen, die mit MeV-Elektronen bestrahlt wurden, werden ebenfalls durchgeführt.
  • Produktdetails
  • Verlag: Verlag Unser Wissen
  • Seitenzahl: 180
  • Erscheinungstermin: 21. Mai 2020
  • Deutsch
  • Abmessung: 220mm x 150mm x 11mm
  • Gewicht: 286g
  • ISBN-13: 9786200995711
  • ISBN-10: 6200995710
  • Artikelnr.: 59862573
Autorenporträt
Prof. Sonia Kaschieva PhD, DSc, ISSP, BAS. Sofia, Bulgarije. Geboren in 1943, Bulgarije. 1999 - Doctor in de wetenschappen in JINR, Dubna, Rusland. 2004 -Professor, geassocieerd. lid van ISSP - BAS. Prof. Sergey N. Dmitriev PhD, DSc, JINR, Dubna - Rusland Geboren in 1954, Rusland 1996 Doctor in de wetenschappen in JINR, Dubna, Rusland 2000 Hoogleraar, directeur van de FLNR JINR.