Die Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS) eignet sich für die Untersuchung von Tiefenverteilungen und zur Spurensuche der Elemente sowie zur Oberflächenanalyse. Damit lassen sich Moleküle identifizieren, sekundärionenmikroskopische Abbildungen herstellen und dreidimensionale Elementverteilungen in dünnen Schichten bestimmen. Ausgewählte Beispiele zeigen die Anwendungsmöglichkeiten der SIMS für die traditionelle Festkörperanalyse in der Halbleiterindustrie, aber auch bei der Analyse von Materialien in der organischen Chemie, der Medizin, der Biologie, der Geologie, der Umweltforschung usw. Neue Ionenquellen, die Laserionisierung, die Neutralteilchenanalyse und die Flugzeitmassenspektrometrie führten zu einer immer noch umfangreicheren Anwendbarkeit in Naturwissenschaft und Technik. Die wesentlichen Grundlagen und Parameter der Sekundärionenemission sowie die Merkmale der Analysengeräte werden zusammenfassend dargestellt. Das vor liegende Buch soll dazu dienen, einem möglichst breiten Kreis von Naturwissenschaftlern, Ingenieuren und Studenten die notwendigsten Grundlageninformationen und Anwendungsmöglichkeiten der SIMS-Methode zu vermitteln. Das Buch ist aus Vorlesungen und Vorträgen der Verfasser zur Sekundärionenmassenspektrometrie hervorgegangen und greift auf die Erfahrungen einer langjährigen Zusammenarbeit auf diesem Gebiet zurück.