Wegbereiter der digitalen Zeit (eBook, PDF)
Stephan Paetrow
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Wegbereiter der digitalen Zeit (eBook, PDF)

Eine Geschichte der ZEISS Lithographieoptik

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Mitte der 1960er Jahre entwickelte ein kleines Team bei ZEISS Oberkochen die ersten Objektive für die Belichtung integrierter Schaltkreise, die sogenannte Lithographieoptik.Schon damals gelang es, die Grenzen des Machbaren auszuloten und neu zu definieren. Seitdem trägt die ZEISS Lithographieoptik entscheidend dazu bei, immer höhere Rechenleistungen in immer kleineren Geräten zu ermöglichen. Diese Entwicklung wird auch als Moore's Law bezeichnet. Heute ist ZEISS das weltweit einzige Unternehmen, das Optiken für die neueste Generation, der sogenannten EUV-Lithographie, liefern kann. Denn ...