CVD of Compound Semiconductors (eBook, PDF)
Precursor Synthesis, Development and Applications
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Metallorganische Precursormoleküle sind zur Herstellung von dünnen, hochreinen Schichten für Elektronikbauelemente unentbehrlich. Dieses Handbuch behandelt die Herstellung und Struktur der Precursor und ihre Anwendung in CVD-Prozessen zur Herstellung von Verbindungshalbleitern. Unter anderem werden behandelt: * Strategien und Techniken zur Herstellung von Verbindungshalbleitern * Metallorganische Precursormoleküle für III-V MOVPE * Metallorganische Precursormoleküle für II-VI MOVPE * Einkomponentenvorstufen * CBE-Technik * ALE-Technik Eine Reihe von Glossarien und ein ausführliches Lit...
Metallorganische Precursormoleküle sind zur Herstellung von dünnen, hochreinen Schichten für Elektronikbauelemente unentbehrlich. Dieses Handbuch behandelt die Herstellung und Struktur der Precursor und ihre Anwendung in CVD-Prozessen zur Herstellung von Verbindungshalbleitern. Unter anderem werden behandelt: * Strategien und Techniken zur Herstellung von Verbindungshalbleitern * Metallorganische Precursormoleküle für III-V MOVPE * Metallorganische Precursormoleküle für II-VI MOVPE * Einkomponentenvorstufen * CBE-Technik * ALE-Technik Eine Reihe von Glossarien und ein ausführliches Literaturverzeichnis runden dieses umfassende Werk ab. Dieses Buch ist für Chemiker, Physiker, Ingenieure und Materialwissenschaftler, die sich mit der Materialentwicklung dünner Schichten befassen, zu empfehlen.
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