Ohmi

Broschiertes Buch

Ultra-Clean Technology Handbook

Volume 1: Ultra-Pure Water

Herausgegeben: Ohmi, Tadahiro

Beschreibung

Evaluating the effectiveness of conventional wet processes for cleaning silicon wafers in semiconductor production, this reference reveals concrete measures to improve ultrapure water quality reviewing the structure and physical characteristics of ultrapure water molecules.

Produktdetails

• Verlag: CRC Press / Taylor & Francis
• Seitenzahl: 944
• Englisch
• Abmessung: 50mm x 174mm x 246mm
• Gewicht: 1750g
• ISBN-13: 9780367402341
• Artikelnr.: 59863184