étude d''un micro-gyromètre deux axes à poutre vibrante en silicium
Jérôme Maisonnet
Broschiertes Buch

étude d''un micro-gyromètre deux axes à poutre vibrante en silicium

senseurs à ondes de volume

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Les travaux présentés ont pour but l'optimisation et la réalisation d'un gyromètre micro usiné à poutre vibrante sur substrat silicium. Ces travaux s'inscrivent dans la continuité de thèses précédemment effectuées à FEMTO-ST et consacrées au développement de structures en étoile. Cette configuration est appropriée à la réalisation de mesures de vitesse angulaire dans le plan du substrat. Le projet de recherche propose une évolution du gyromètre silicium avec passage d'une détection capacitive à une détection optique. C'est pourquoi le mémoire propose naturellement un re...