Tecnología MEMS: Un enfoque para fabricar lentes electrostáticas delgadas
Una microcolumna ultraminiaturizada con emisor de campo 2D-CNT (un mini-SEM)
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Desde el descubrimiento de la microcolumna por Chang en 1980, ha surgido un inmenso interés por la microcolumna miniaturizada debido a sus diversas aplicaciones, como la litografía directa por haz electrónico, el dispositivo de bajo coste, la microscopía electrónica de bajo voltaje y la microscopía electrónica portátil debido a su alto rendimiento. El tamaño compacto permite que las microcolumnas se ensamblen en forma de matriz, lo que mejora significativamente el rendimiento de las imágenes o el rendimiento de la capacidad litográfica. Hemos fabricado e investigado tres diseños di...
Desde el descubrimiento de la microcolumna por Chang en 1980, ha surgido un inmenso interés por la microcolumna miniaturizada debido a sus diversas aplicaciones, como la litografía directa por haz electrónico, el dispositivo de bajo coste, la microscopía electrónica de bajo voltaje y la microscopía electrónica portátil debido a su alto rendimiento. El tamaño compacto permite que las microcolumnas se ensamblen en forma de matriz, lo que mejora significativamente el rendimiento de las imágenes o el rendimiento de la capacidad litográfica. Hemos fabricado e investigado tres diseños diferentes de microcolumnas, todos ellos empleando la lente de origen modificada, diferentes distancias de trabajo y con y sin lente de objetivo. Se investigó la calidad de la imagen y la corriente de sondeo de todas las microcolumnas recién fabricadas. Las lentes electrostáticas se fabricaron mediante la técnica MEMS. El emisor de campo 2D-CNT se utilizó como emisor fuente para estas columnas. Nuestros resultados sugieren que, entre las tres estructuras de microcolumna, la microcolumna ultraminiaturizada mostró la mayor corriente de sondeo ~9,5 nA. Una microcolumna ultraminiaturizada puede ser un candidato prometedor para la herramienta litográfica de próxima generación, ya que el diseño es más adecuado para la microcolumna integrada a escala de oblea que la microcolumna convencional.
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