Strukturelle und elektrische Eigenschaften polykristalliner Siliziumdünnfilme. Reihe 9: Elektronik. (=Fortschritte Berichte VDI; Nr. 62).

Strukturelle und elektrische Eigenschaften polykristalliner Siliziumdünnfilme. Reihe 9: Elektronik. (=Fortschritte Berichte VDI; Nr. 62).

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