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Structure and Imperfections in Amorphous and Crystalline Silicon Dioxide
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Siliciumdioxid ist eine der häufigsten Verbindungen der Erdkruste und gleichzeitig von immenser technologischer Bedeutung. Die Anwendungsgebiete des Siliciums reichen von der Glasfaserkommunikation über die Mikroelektronik und Halbleiterfertigung bis zur Deponie von Atommüll. Dieses in sich geschlossene Handbuch der Silicium-Technologie behandelt amorphe und kristalline Phasen, wobei der Schwerpunkt auf Strukturen und Strukturdefekten liegt. (02/00)