Wai Kin Chim

Gebundenes Buch

Semiconductor Device and Failure Analysis

Using Photon Emission Microscopy

Beschreibung

Integrierte Schaltkreise werden immer komplexer - deshalb wird es zunehmend schwieriger, Fehler schnell und treffsicher aufzuspüren. Die Photonenemissionsmikroskopie (PEM) ist eine Analysetechnik auf physikalischer Grundlage, die sich als Fehlererkennungsmethode bewährt hat. Dieser Band erläutert alle Aspekte dieser Methode, von der instrumentellen Ausrüstung über spezifische Details der Mikroskope bis hin zu Merkmalen der Photonenemission unter verschiedenen Bedingungen. (11/00)

Autor

Wai Kin Chim is the author of Semiconductor Device and Failure Analysis : Using Photon Emission Microscopy , published by Wiley.

Produktdetails

• Verlag: Wiley & Sons
• 1. Auflage
• Seitenzahl: 288
• Erscheinungstermin: 10. November 2000
• Englisch
• Abmessung: 260mm x 183mm x 20mm
• Gewicht: 532g
• ISBN-13: 9780471492405
• ISBN-10: 047149240X
• Artikelnr.: 09286922

Rezensionen

"This reference details the principles of design, calibration, and use of photon emission microscopy (PEM) as a fault localization technique used for analyzing device reliability and failure." (SciTech Book News Vol. 25, No. 2 June 2001)