Relation microstructure et propriété des films de ZrO2 par MOCVD
Zhe Chen
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Relation microstructure et propriété des films de ZrO2 par MOCVD

couches minces, contrainte résiduelle, gradient de contrainte, structure cristalline, texture

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Les films de ZrO2 pur sont déposés par MOCVD en variant de nombreux paramètres du processus. L'influence des conditions de dépôt sur l'évolution de la microstructure a été étudiée et clarifiée. Par des analyses approfondies des résultats expérimentaux, trois mécanismes typiques de croissance de dépôt de ZrO2 ont été proposées. Les contraintes de croissance de compression sont en relation directe avec la diffusion atomique et la quantité d'espèces piégées dans les films. La formation de la texture cristallographique est complexe et deux types de textures ont été analysÃ...