Pow¿oki polimerowe nanoszone metod¿ Pulsacyjnej Ablacji elektronowej
Zuzanna Piedel
Broschiertes Buch

Pow¿oki polimerowe nanoszone metod¿ Pulsacyjnej Ablacji elektronowej

Wp¿yw podstawowych parametrów osadzania na morfologi¿ i szybko¿¿ osadzania pow¿ok metod¿ PED.

Versandkostenfrei!
Versandfertig in 6-10 Tagen
23,99 €
inkl. MwSt.
PAYBACK Punkte
12 °P sammeln!
W badaniu osadzono pow¿oki z politetrafluoroetylenu (teflonu na krzemowym pod¿o¿u w procesie pulsacyjnego osadzania wi¿zki elektronów ¿PED. Osadzanie pow¿ok polimerowych za pomoc¿ PED jest stosunkowo nieznan¿ technik¿. Ze wzgl¿du na ograniczon¿ wiedz¿ na temat zastosowania tej techniki do osadzania pow¿ok polimerowych przeprowadzone badania miäy charakter eksploracyjny. Osadzanie pow¿ok z politetrafluoroetylenu przeprowadzono w 24 °C przy ró¿nych ci¿nieniach w zakresie 1 -11 mTorr i ró¿nych warto¿ciach napi¿¿. Osadzanie pow¿ok miäo miejsce w obecno¿ci argonu i azotu...