Plasmasynthese von Kohlenstoffschichten

Plasmasynthese von Kohlenstoffschichten

Herstellung von Kohlenstoffschichten durch Plasmaprozesse für die Anwendung in Solarzellen

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Ziel dieser Arbeit war es, mit Hilfe von Plasmaprozessen dünne Kohlenstoffschichten auf bestimmten Substraten (Glas, Silizium und FTO-beschichtetes Glas) abzuscheiden und sie anschließend in einem SF6-Plasma in Kombination mit H2, O2 und Ar zu korrodieren, um die Rauheit und damit die Kontaktfläche dieser Schichten mit dem Elektrolyten einer Farbstoffsolarzelle (DSSC) zu erhöhen. Die hergestellten Filme wurden mit Hilfe von Profilometrie, SEM, XRD, XPS, AFM, RAMAN, FTIR, Goniometrie und 4-Punkt-Schichtwiderstandsmessungen charakterisiert und untersucht. Diese Analysen zeigten, dass die Fil...