Minoru Sugawara, M. Sugawara

Gebundenes Buch

Plasma Etching

Fundamentals and Applications

Beschreibung

This book focuses on the remarkable recent advances in understanding low pressure radio frequency glow discharges. It explains the basic analytical theory, plasma physics, and plasma diagnostics, before proceeding to the details of the etching process.

Autor

Professor Minoru Sugawara, Hachinohe Institute of Technology, Hachinohe-city, Aomori 031, Japan. Fax: [phone]

Produktdetails

• Verlag: Oxford University Press (UK)
• Seitenzahl: 356
• Erscheinungstermin: 30. Juli 1998
• Englisch
• Abmessung: 245mm x 164mm x 24mm
• Gewicht: 747g
• ISBN-13: 9780198562870
• ISBN-10: 019856287X
• Artikelnr.: 22381596