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Mikrosystemtechnik
Grundlagen, Praxis, Trends
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Der Autor, seit vielen Jahren in der Mikrosystemtechnik tätig, gibt einen umfassenden Ãœberblick über die Vielzahl der bereits heute angebotenen Lösungen, über die Entwicklungsmöglichkeiten neuer Produkte und deren Marktchancen. Die beschriebenen Produktbeispiele reichen von Mikrofiltern, Mikrospitzen und kleinsten Strukturen, bis hin zu Sensoren für Druck, Beschleunigung, Neigung, Magnetfeld, Infrarot-Strahlung und Gasströmung. Ein weiterer Schwerpunkt liegt bei der der Beschreibung von Mikroaktoren wie Spiegeln, Mikromotoren, Ventilen und Mikropumpen sowie von integrierten Systemen fÃ...
Der Autor, seit vielen Jahren in der Mikrosystemtechnik tätig, gibt einen umfassenden Überblick über die Vielzahl der bereits heute angebotenen Lösungen, über die Entwicklungsmöglichkeiten neuer Produkte und deren Marktchancen. Die beschriebenen Produktbeispiele reichen von Mikrofiltern, Mikrospitzen und kleinsten Strukturen, bis hin zu Sensoren für Druck, Beschleunigung, Neigung, Magnetfeld, Infrarot-Strahlung und Gasströmung. Ein weiterer Schwerpunkt liegt bei der der Beschreibung von Mikroaktoren wie Spiegeln, Mikromotoren, Ventilen und Mikropumpen sowie von integrierten Systemen für chemische Analysen, für Spektrometer oder für die Drucktechnik. Diese Produkte finden vielfältige Anwendungsmöglichkeiten, z. B. in den Massenmärkten Automobilelektronik, Informationstechnik oder Konsumelektronik, sowie in Spezialmärkten wie der Fertigungs-, Prozeß-, Medizintechnik oder dem Umweltschutz. Daher wird mikrosystemtechnischen Produkten ein großer Marktmit hohem Wachstum vorausgesagt.