Mikrosystemtechnik
Ulrich Hilleringmann
Broschiertes Buch

Mikrosystemtechnik

Prozessschritte, Technologien, Anwendungen

Versandkostenfrei!
Sofort lieferbar
37,99 €
inkl. MwSt.
Weitere Ausgaben:
PAYBACK Punkte
0 °P sammeln!
Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Diejeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihre...