Mikrostrukturierte Elektroden
Prozesstechnik und Herstellung
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Die Verwendung von doppelseitig freitragenden mikrostrukturierten Elektroden in MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) und Radiofrequenzfallen sind derzeit Gegenstand aktueller Entwicklungen. Dieses Buch stellt die chemischen und physikalischen Verfahren und einen schrittweisen Herstellungsprozess für die Erzeugung von mikrostrukturierten Elektroden vor. Um freitragende Metallelektroden zu erhalten wurde eine isotrope Tiefätzung eines Trägermaterials (in diesem Falle SiO2) durchgeführt, welche eine Unterätzung der Elektroden erzeugt. Zur Bearbeitung des Trägermaterials und der Metallisie...
Die Verwendung von doppelseitig freitragenden mikrostrukturierten Elektroden in MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) und Radiofrequenzfallen sind derzeit Gegenstand aktueller Entwicklungen. Dieses Buch stellt die chemischen und physikalischen Verfahren und einen schrittweisen Herstellungsprozess für die Erzeugung von mikrostrukturierten Elektroden vor. Um freitragende Metallelektroden zu erhalten wurde eine isotrope Tiefätzung eines Trägermaterials (in diesem Falle SiO2) durchgeführt, welche eine Unterätzung der Elektroden erzeugt. Zur Bearbeitung des Trägermaterials und der Metallisierung wurde auf Standardverfahren in der Prozesstechnik (Flusssäure für die isotrope Tiefenätzung, Argon-Plasma zum Sputtern der Metallisierung, Photolack zur Übertragung der Struktur der Belichtungsmaske) zurückgegriffen. Weiters wurde die Veränderung des Photolacks durch Argon-Beschuss und die Haltbarkeit der Metallisierung bei langen (24h-48h) Ätzzeiten in Flusssäure untersucht. Dieses Buch wendet sich an StudentInnen und ForscherInnen im Bereich mikromechanischer Systeme (MEMS) und VerfahrenstechnikerInnen.
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