Stephanus Büttgenbach

Broschiertes Buch

Mikromechanik

Einführung in Technologie und Anwendungen

Mitarbeit: Büttgenbach, Stephanus

Beschreibung

Bedeutung und Inhalte der Mikromechanik.- Werkstoffe der Mikromechanik.- Reinraumtechnik.- Technologie der Mikromechanik.- Meßmethoden.- Anwendungen der Mikromechanik.- Mikrosystemtechnik.

Produktdetails

• Angewandte Physik
• Verlag: Vieweg+Teubner / Vieweg+Teubner Verlag
• Artikelnr. des Verlages: 978-3-519-13071-0
• 2. Aufl.
• Seitenzahl: 244
• Erscheinungstermin: 1. Januar 1997
• Deutsch
• Abmessung: 216mm x 140mm x 14mm
• Gewicht: 282g
• ISBN-13: 9783519130710
• ISBN-10: 3519130718
• Artikelnr.: 04086060