Microelectromechanical Systems - Materials and Devices IV
Volume 1299
Herausgeber: Delrio, Frank W.; Eberl, Christoph; De Boer, Maarten P.
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Symposium S, 'Microelectromechanical Systems - Materials and Devices IV', focused on micro- and nanoelectromechanical systems (MEMS/NEMS).
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