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Kontaminationen in der Mikrostrukturierung
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Dieses Buch erläutert die grundlegenden Zusammenhänge zwischen den Techniken der Mikrostrukturierung und den unvermeidbaren Kontaminationen durch die Umgebung. Es richtet sich an Dozenten und Studenten von Hochschulen mit Schwerpunkt Mikrosystemtechnik, aber auch an Ingenieure und Facharbeiter, die im Bereich Mikrosystemtechnik arbeiten.Zunächst wird ein kurzer Einblick in die Mikrostrukturtechniken gegeben. Es schließen sich Informationen über die verschiedenen Kontaminationsquellen und über die Eigenschaften und Defektmechanismen kleinster Partikel und molekularer Kontaminationen an. D...
Dieses Buch erläutert die grundlegenden Zusammenhänge zwischen den Techniken der Mikrostrukturierung und den unvermeidbaren Kontaminationen durch die Umgebung. Es richtet sich an Dozenten und Studenten von Hochschulen mit Schwerpunkt Mikrosystemtechnik, aber auch an Ingenieure und Facharbeiter, die im Bereich Mikrosystemtechnik arbeiten.Zunächst wird ein kurzer Einblick in die Mikrostrukturtechniken gegeben. Es schließen sich Informationen über die verschiedenen Kontaminationsquellen und über die Eigenschaften und Defektmechanismen kleinster Partikel und molekularer Kontaminationen an. Des Weiteren werden die wichtigsten Mess- und Analysetechniken für Verunreinigungen sowie der grundsätzliche Aufbau eines Reinraumes vorgestellt. Abschließend wird der Mensch im Reinraum betrachtet und wichtige Regeln für das Arbeiten im Reinraum aufgestellt.Das Buch bietet Ingenieuren einen umfangreichen Einblick in dieses wichtige Thema der Mikrosystemtechnik und ist eine gute Grundlage für die Schulung des Reinraumpersonals. Nur gut geschultes Personal ist in der Lage, die Gefahr durch Verunreinigungen zu erkennen und sie zu vermeiden.