Nikolaj Lemeshko

Broschiertes Buch

Jelementy tehnologicheskih ustanowok w mikroälektronnom proizwodstwe

Beschreibung

Rabota posvyashhena voprosu tehnologicheskogo osnashheniya mikrojelektronnogo proizvodstva. V knige privoditsya informaciya o naznachenii i konstrukcii jelementov tehnologicheskih ustanovok, obespechivajushhih serijnoe mikrojelektronnoe proizvodstvo. Rassmatrivajutsya sredstva sozdaniya i kontrolya vakuuma, metody i sredstva ispareniya materialov, poluchenie i kontrol' parametrov tonkih plenok, ustrojstva jepitaxial'nogo narashhivaniya, metody i sredstva polucheniya zashhitnyh dijelektricheskih sloev, metody i osnashhenie dlya legirovaniya poluprovodnikov. Privodimaya informaciya mozhet byt' polezna inzheneram, tehnologam, razrabotchikam mikrojelektronnyh izdelij, a takzhe studentam vysshih tehnicheskih uchebnyh zavedenij.

Autor

V 2008 g. Lemeshko N.V. zaschitil dissertaciü s prisuzhdeniem uchenoj stepeni kandidata tehnicheskih nauk. V 2014 g. zaschitil doktorskuü dissertaciü po special'nosti "Radiotehnika". Yawlqetsq awtorom bolee 110 nauchnyh rabot, poswqschennyh woprosam älektromagnitnoj sowmestimosti i metodam modelirowaniq radioälektronnyh ustrojstw.

Produktdetails

• Verlag: LAP Lambert Academic Publishing
• Seitenzahl: 76
• Erscheinungstermin: 25. November 2015
• Russisch
• Abmessung: 220mm x 150mm x 5mm
• Gewicht: 131g
• ISBN-13: 9783659808548
• ISBN-10: 3659808547
• Artikelnr.: 44347559