Ionno-plazmennye sistemy s kombinirowannymi EN polqmi

Ionno-plazmennye sistemy s kombinirowannymi EN polqmi

Planarnye ionno-plazmennye sistemy s postoqnnymi skreschennymi EN polqmi

Versandkostenfrei!
Versandfertig in 6-10 Tagen
27,99 €
inkl. MwSt.
PAYBACK Punkte
14 °P sammeln!
Izucheny processy vozniknoveniya i integral'nye harakteristiki gazovyh razryadov v ustrojstvah s kombinirovannymi jelektricheskimi (postoyannym, vysokochastotnym, potencial'nym, vihrevym) i magnitnymi (postoyannym, vihrevym) polyami na baze planarnogo magnetronnogo razryada v uskoritel'nom i plazmennom rezhimah, VCh- indukcionnogo razryada, kombinirovannyh indukcionno-emkostnogo i indukcionno-magnetronnogo razryadov. Polucheny analiticheskie vyrazheniya dlya jenergeticheskoj ceny iona i kojefficient ionizacii dlya ansamblya jelektronov s razlichnoj funkciej raspredeleniya po jenergiyam i rassc...