Faseroptisches Streifenprojektionssystem zur Inline-Erfassung von 3D-Oberflächengeometrien für die Mikromontage
Sascha Hermann Driessen
Broschiertes Buch

Faseroptisches Streifenprojektionssystem zur Inline-Erfassung von 3D-Oberflächengeometrien für die Mikromontage

Dissertationsschrift

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In der vorliegenden Arbeit wird ein neuartiger 3D-Sensor zur inline Form- und Lageerkennung von Mikrobauteilen bei der Montage hybrider Mikrosysteme entwickelt. Dazu wird zunächst der Stand der Technik bei der Montage hybrider Mikrosysteme und der heute verwendeten Prozessüberwachung in diesem Umfeld betrachtet. Dabei zeigt sich, dass im Hinblick auf das generelle Ziel einer Automatisierung der Montagevorgänge ein entsprechender Sensor zur Aufnahme von 3D-Geometrien der zu montierenden Mikrobauteile fehlt. Eine Untersuchung vorhandener Systeme und Prinzipien zur 3D-Erfassung von Mikrobautei...