Entwicklung eines mobilen EUV-Rastermikroskopes
Vom Wasserfenster bis zum EUV
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In diesem Buch wird der Aufbau eines aufZonenplattenoptiken basierenden, kompakten, mobilenLabor-Rastermikroskopes beschrieben. DerAnwendungsbereich liegt im Bereich weicher Röntgen-und EUV-Strahlung. Dieser Teil des Spektrums umfaßtden für biologische Untersuchungen interessantenBereich des Wasserfensters zwischen 2,3 und 4,4 nmWellenlänge, genauso wie die für die Industrieprominente Linie bei 13 nm.Als kompakte Quelle für EUV-Strahlung kommenbeispielsweise laserinduzierte Plasmen oderHohe-Harmonische Strahlung in Frage. LaserinduziertePlasmen sind heute gut verstanden und liefernzeitli...
In diesem Buch wird der Aufbau eines aufZonenplattenoptiken basierenden, kompakten, mobilenLabor-Rastermikroskopes beschrieben. DerAnwendungsbereich liegt im Bereich weicher Röntgen-und EUV-Strahlung. Dieser Teil des Spektrums umfaßtden für biologische Untersuchungen interessantenBereich des Wasserfensters zwischen 2,3 und 4,4 nmWellenlänge, genauso wie die für die Industrieprominente Linie bei 13 nm.Als kompakte Quelle für EUV-Strahlung kommenbeispielsweise laserinduzierte Plasmen oderHohe-Harmonische Strahlung in Frage. LaserinduziertePlasmen sind heute gut verstanden und liefernzeitlich stabile Quellen mit guterKonversionseffizienz, um abbildende Anwendungen wiedie Mikroskopie zu betreiben. Hohe-HarmonischeStrahlung dagegen ermöglicht mit seiner kurzenPulsstruktur im Bereich einiger FemtosekundenUntersuchungen dynamischer Prozesse.Beide Quelltypen bieten die Möglichkeit,rastermikroskopische Experimente vonGroßeinrichtungen wie Elektronenspeicherringen in dasLabor zu verlagern.Untersuchungsverfahren wieSpektromikroskopie, Photoelektronen- oderRöntgenfluoreszenzspektroskopie können übertragen undmit hoher Zeitauflösung durchgeführt werden.
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