
Ernst-Christian Richter
Broschiertes Buch
Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System
Dissertationsschrift
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Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System
Produktbeschreibung
- Physikalische Chemie
- Verlag: Utz Verlag
- 2., unveränderte Auflage (Erstauflage 2000)
- Seitenzahl: 88
- Deutsch
- Abmessung: 6mm x 145mm x 205mm
- Gewicht: 140g
- ISBN-13: 9783831686353
- Artikelnr.: 64356565
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