Ernst-Christian Richter

Broschiertes Buch

Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System

Dissertationsschrift

Beschreibung

Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System

Produktdetails

• Physikalische Chemie
• Verlag: Utz Verlag
• 2., unveränderte Auflage (Erstauflage 2000)
• Seitenzahl: 88
• Deutsch
• Abmessung: 6mm x 145mm x 205mm
• Gewicht: 140g
• ISBN-13: 9783831686353
• Artikelnr.: 64356565