BEREKENINGSMETHODE VOOR ENERGIEBEREKENING
STUDIE VAN SCHADEPROFIELEN EN ENERGIEBEREKENING VAN GALLIUM EN ARSEENIONEN TIJDENS DE IONENIMPLANTATIE OP GERMANIUM
Versandkostenfrei!
Versandfertig in 6-10 Tagen
18,99 €
inkl. MwSt.
PAYBACK Punkte
9 °P sammeln!
Er is een rekenkundige berekening gemaakt van het energieverlies en de schadeprofielen bij de implantatie van gallium- en arseenionen onafhankelijk van elkaar op amorf germanium tijdens de ionenimplantatie. De benodigde energieën voor doping van galliumion en arseenion op germanium, om maximale schade bij 600 Å te verkrijgen, werden berekend met behulp van SRIM. Deze energieën, wanneer ze onafhankelijk van elkaar op germanium worden geïmplanteerd, veroorzaken de productie van germaniumterugslagen, vacature-interstitiële paren en telefoons tijdens het botsingsproces. Voor 130 keV galliumio...
Er is een rekenkundige berekening gemaakt van het energieverlies en de schadeprofielen bij de implantatie van gallium- en arseenionen onafhankelijk van elkaar op amorf germanium tijdens de ionenimplantatie. De benodigde energieën voor doping van galliumion en arseenion op germanium, om maximale schade bij 600 Å te verkrijgen, werden berekend met behulp van SRIM. Deze energieën, wanneer ze onafhankelijk van elkaar op germanium worden geïmplanteerd, veroorzaken de productie van germaniumterugslagen, vacature-interstitiële paren en telefoons tijdens het botsingsproces. Voor 130 keV galliumionen is de energie die gebruikt wordt voor ionisatie, telefoonproductie en vacaturecreatie respectievelijk 37.713 keV (29,01%), 90.006 keV (64,29%) en 8.71 keV (6,7%), terwijl voor 140 keV arseenion het energieverbruik voor ionisatie, telefoonproductie en vacaturecreatie respectievelijk 39.634 keV (28,31%), 90.888 keV (64,92%) en 9.478 keV (6,77%) bedraagt. Ook de hoeveelheid doelverplaatsingen, vervangingsaanrijdingen en vacatures worden geëvalueerd.
Andere Kunden interessierten sich für
